學術研究

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薄膜特性分析與應用實驗室 實驗室房號 :IL-010 連絡電話: +886-3-4227151-25211 | 實驗室網站:
指導教授:
研究介紹: 研究領域:

光學薄膜設計、製鍍分析與量測

真空設備的設計與組立之技術

光電產品之光學最佳化的模擬、設計、製鍍、量測與分析

透明導電薄膜製程、分析與量測

電漿聚合膜在薄膜的應用

石墨烯薄膜成長與應用於光電元件

可撓式基板鍍膜及應力分析



研究內容:









研究計畫
執行職稱 計畫名稱 計畫執行時間 補助單位 補助經費
主持人 觸控模組光學視效量化及光學設計 2023-11-27 - 2024-05-10 英特盛科技
主持人 極紫外光高反射鏡光學鍍膜技術(III)(112-2221-E-008-068-) 2023-08-19 - 2024-07-19 國科會
協同主持人 高精度三維自由曲面光電半導體元件虛實複合加工技術及系統開發-高精度三維自由曲面光電半導體元件虛實複合加工技術及系統開發(3/4)(112-2218-E-007-019-) 2023-06-19 - 2024-05-19 國科會
協同主持人 雷射掃描共軛焦顯微拉曼量測系統之截止濾光片設計開發(111-2622-E-492-017-) 2022-11-19 - 2023-10-19 國科會
主持人 極紫外光高反射鏡光學鍍膜技術(II) (111-2221-E-008-035-) 2022-08-19 - 2023-07-19 國科會
主要儀器設備:
論文著作與專利:
期刊論文  
NO. 內容
1   D. T. Cu, H. W. Wu, H. P. Chen, L. C. Su and C. C. Kuo*, “Exploiting Thin-Film Properties and Guided-Mode Resonance for Designing Ultrahigh-Figure-of-Merit Refractive Index Sensors”, Sensors, 24, 904 (2024).
2   L. C. Chen, M. C. Li, K. R. Chen, Y. J. Cheng, X. Y. Wu, S. A. Chen, M. J. Youh, C. C. Kuo, Y. X. Lin, C. Y. Lin, C. F. Wang, C. F. Huang, S. Y. Lin, W. H. Wang, Y. H. Chen, M. L. Yu, A. Thitithanyanont, S. F. Wang*, and L. C. Su*, “Facile and Unplugged Surface Plasmon Resonance Biosensor with NIR-Emitting Perovskite Nanocomposites for Fast Detection of SARS-CoV-2”, Anal. Chem., 95, 18, 7186–7194 (2023).
3   K. W. Lu, H. L. Chen, H. P. Chen, and C. C. Kuo*, “Design of organic/inorganic multilayer water vapor barrier thin films deposited via plasma polymerization for encapsulation”, Thin Solid Films, 767, 39672 (2023).
4   K. W. Lu, Y. T. Lin, H. S. Wei and C. C. Kuo*, “Superhydrophilic Modification of Polycarbonate Substrate Surface by Organic Plasma Polymerization Film”, Materials 15, 4411 (2022). (SCI, IF=3.748, PHYSICS, APPLIED, 56/161, Q2)
5   D. T. Cu, T. D. Pham, V. T. Hung Le, M. C.Li, H. P. Chen, and C. C. Kuo*, “Design of a High-Efficiency Multilayer Dielectric Diffraction Grating with Enhanced Laser Damage Threshold”, Nanomaterials, 12, 1952 (2022). (SCI, IF=5.179, PHYSICS, APPLIED, 37/161, Q1)
專利
專利類別 專利名稱 國別 發明人 提申案號/ 證書號/權利起訖時間
發明專利 波前檢測系統及方法 中華民國 李孟錡,郭倩丞,林育賢,李正中,許玄岳
I645169
2018-12-19~2038-02-19
發明專利 薄膜形成設備及薄膜形成方法 中華民國 郭倩丞,李正中,李孟錡,何正榮
I564419
2017-01-19~2034-09-19
發明專利 親水光學膜層結構 中華民國 李正中,魏宏森,郭倩丞,張雅真
I556976
2016-11-19~2035-11-19
教授課程

薄膜設計與製作

薄膜沉積技術

光電工程概論

光學實驗

輻射與檢測

薄膜光學

專題研究I

書報討論


研究團隊
博士後研究員
在學學生
博士生:

盧冠為

王繼傑

楚維清

陳恩仕

陳楷仁

余奕璋

邱國揚


碩士生:

碩二: 柯冠宇 紀孟甫 施艾玲 徐浚宸

碩一: 陳韋豪 陳廷祐 林純羽 王詠嬋

學士生:
畢業學生
博士班畢業生:

2020:

張雅真:利用介電質-金屬對稱膜堆設計雙曲超穎材料並分析其光學特性

廖偉博:利用介電係數趨近零材料設計層狀寬帶超穎吸收膜

2016:

詹世豪:化學氣相沉積石墨烯透明導電膜之製程與分析

碩士班畢業生:

2022:

1.何家綸:利用電漿輔助原子層沉積鍍製抗反射膜於塑膠基板之環境測試

2.黃冠傑:離子束濺鍍系統鍍製極紫外光鉬矽多層膜反射 鏡及其微觀結構之分析

3.熊永仁:基於超像素法之偏振干涉系統應用於薄膜量測

4.李甄:結合光譜反射和橢偏技術於奈米級薄膜特性量測之研究

5.陳宥全:偏振干涉技術應用於生物感測器之研究

2021:

1.林佳霈:相位式侷域表面電漿共振感測器之開發

2.吳紘維:高品質因數次波長波導光柵折射率感測器之設計與分析

3.王晟輔:利用電漿輔助原子沉積法沉積奈米複合層改善塑膠基板之膜裂現象

4.戴宏穎:使用離子束濺鍍系統降低EUV反射鏡鉬矽介面擴散層厚度之研究

2020:

1.何宜祐:抑制層對降低電漿輔助原子層沉積二氧化鉿薄膜結晶之研究

2.李政宏:利用深度神經網路模型換算表面電漿共振增強 Goos-Hänchen 位移

3.陳楷仁:相移式干涉儀應用於表面電漿共振

4.楊賀宇:原子層沉積法沉積二氧化鉿於波導模態共振結構之研究

5.張雅真(共指):利用介電質-金屬對稱膜堆設計雙曲超穎材料並分析其光學特性

6.廖偉博(共指):利用介電係數趨近零材料設計層狀寬帶超穎吸收膜

2019:

1.涂譽馨:利用表面電漿共振增強 Goos-Hänchen 位 移現象量測折射率變化

2.徐子杰:低應力類鑽碳膜應用於熱成像系統之抗反射膜

3.楚维清:裝備具有低光斑的抗眩光膜層

4.劉子凡:電漿輔助原子層沉積法鍍製抗反射膜於微型塑膠透鏡

2018:

1.許進吉:利用真空噴塗系統製備UV固化膜之研究

2.范天達:利用有限元素方法分析光譜合束器之多層介電質繞射光柵之繞射效率.

3.陳詣欽:動態干涉儀應用於量測活體微生物之光學常數

4.石晉羽:以表面活化官能基增進塑膠基板附著性之研究

5.傅筱婷:進階簡型演算法應用於優化光學薄膜設計

6.游琇閔:透鏡品質檢測基於四波橫向剪切干涉儀

7.陳頤(共指):即時性多角度光譜儀系統之校正與應用

8.陳孝綸(共指):利用堆疊有機膜層製備氣體阻障膜之研究

2017:

1.林育田:製備超親水聚合膜在聚碳酸酯表面研究

2.王文慶:利用自動對焦改善子孔徑相位拼接演算法之研究

3.盧冠為(共指):利用電漿聚合膜提升光學薄膜與塑膠基板之附著性

4.吳政峯(共指):利用光發射光譜儀監控高功率脈衝磁控濺鍍光學薄膜之研究

2016:

1.鮑永翰:真空聚合物薄膜在三維曲面研究

2.梁宏閔:快速退火影響石墨烯晶粒尺寸之研究

3.魏雅芳:直接監控石墨烯成長之研究

4.林柏毅(共指):超親水電漿聚合薄膜之研究

5.吳汧柔(共指):高反射多層膜抗雷射損傷閥值之研究

6.黃建瑄(共指):快速熱退火之石墨烯特性分析

7.廖顏郁(共指):超薄類鑽碳膜之研究

2015:

1.林琨展:改善石墨烯轉印品質之研究

2.林彥安:以射頻磁控濺鍍鍍製多層有機矽阻障層研究

3.陳政熙:暗場顯微鏡系統監控石墨烯成長之研究

4.劉恩睿:快速退火生長高品質石墨烯

5.張洪銘(共指):高穿透類鑽碳膜之研究

6.詹世豪(共指):化學氣相沉積石墨烯透明導電膜之製程與分析

2014:

1.鄭又彰:電漿輔助石墨烯直接成長在Pt上成長機制

2.陳信元:軟性電子阻水氣膜之有機層組成研究

3.魏健桓:電漿輔助低溫化學氣相沉積法直接成長石墨烯/金屬複合透明導電薄膜

4.鄭敬龍(共指):以電漿聚合鍍製氧化矽摻碳氫薄膜應力之研究

5.紀堡鐘(共指):單晶銅成長石墨烯及其可撓性之研究

6.柯億謙(共指):石墨烯與超導金屬介面的電子穿隧行為

2013:

1.黃聖傑(共指):以磁控電漿輔助化學氣相沉積法製鍍有機矽阻障層之研究

2.陳煜升(共指):應用光學導納軌跡法提升太陽能選擇性吸收膜之光熱轉換效率研究

2012:

1.魏敬倫(共指):以反應性射頻磁控濺鍍搭配HMDSO電漿聚合鍍製氧化矽摻碳薄膜阻障層之研究

2.陳嘉偉(共指):石墨烯透明導電膜與其成長模型之研究

學士班畢業生:
實驗室招生資訊

薄膜技術實驗室徵求研究生


本實驗室主要是研究薄膜鍍製、成長特性、量測分析以及真空設備建立

研究內容與產業應用息息相關,將學術研究落實為產品

讓學生在學時間就能提早了解產業需求

鼓勵學生參加國外研討會增廣見聞


歡迎對於薄膜技術有興趣的同學加入


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