研究實驗室介紹-國立中央大學光電科學與工程學系

學術研究

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薄膜技術中心鍍膜實驗室 實驗室房號 :IL-004　連絡電話: +886-3-4227151-65021 | 實驗室網站: http://www.ncu.edu.tw/~tftc

指導教授:

李正中教授

研究介紹: 研究領域:

磁控濺鍍、離子助鍍與薄膜特性量測

研究內容:

李正中教授的研究包括光學監控靈敏度之分析、新型光學監控方法之研發、奈米薄膜光學機制研究、薄膜太陽能電池、光通訊所需次奈米窄帶濾光片之研製、薄膜成長機制理論、薄膜之微觀結構與非均向特性薄膜、薄膜應力之研究、薄膜製備與特性研究等。

新型光學監控方法之研發(Optical monitoring by using admittance loci)

本研究目的在開發一個新型的光學監控系統，可同時擷取反射自薄膜的監控光之強度和反射相位變化。此系統將利用新型動態偏振干涉儀去抑制機械震動和消除空氣擾動的干擾，即時計算出沉積中的膜堆在每一刻的反射係數、光學導納、折射率和厚度的解析解，並以光學導納軌跡做高靈敏度掌控及錯誤補償分析，於製造精密濾光元件時能提高良率。而各項光學常數的即時監控，亦可提供各項薄膜材料在不同環境參數下成長之物理機制做深入研究的重要依據。

圖1 新型光學監控方法架構圖

圖2新型光學監控方法可用於薄膜補償

研究計畫

執行職稱	計畫名稱	計畫執行時間	補助單位	補助經費
	以真空蒸鍍技術製造非球面鏡之研究	-	國家科學委員會補助專題計畫
	在光學塑膠基板上蒸鍍光學薄膜之研究	-	國家科學委員會補助專題計畫
	光學薄膜非均勻性之研究	-	國家科學委員會補助專題計畫
	以相位偏移式橢圓儀測量薄膜光學常數之研究	-	國家科學委員會補助專題計畫
	以鍍膜技術製作非球面及其量測技術之研究	-	國家科學委員會補助專題計畫

主要儀器設備:

論文著作與專利:

期刊論文

NO.		內容
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2		C. C. Lee*, D. S. Wan, C. C. Jaing and C. W. Chu, “Making aspherical mirrors by thin-film deposition”, Appl. Opt., 32, (1993), pp.5535-5540.

3		C. C. Lee*, S. H. Chen and C. C. Jaing, “Optical Monitoring of Silver-based Transparent Heat Mirrors”, Appl. Opt., 35, (1996), pp.5698-5703.

4		C. C. Lee*, D. T. Wei, J. C. Hsu and C. H. Shen, “Influence of Oxygen on Some Oxide Films Prepared by Ion Beam Sputter Deposition”, Thin Solid Films, 290-291, (1996), pp.88-93.

5		C. C. Lee*, J. C. Hsu and C. C. Jaing, “Optical Coatings on Polymethyl Methacrylate and Polycarbonate”, Thin Solid Films, 295, (1997), pp.122-124.

專利

專利類別	專利名稱	國別	發明人	提申案號/ 證書號/權利起訖時間
	干涉相移式量測薄膜應力的方法	中華民國		111817 ~
	使用干涉相移式量測薄膜熱膨脹係數的方法	中華民國		119783 ~
	光擴散板製作方法	中華民國		134430 ~
	以單一材料矽製鍍各種多層干涉膜之技術	中華民國		137551 ~
	The Technique for Deposition Multiplayer Interference Thin Films by Using Only One Coating Material	美國		US 6,425,987 B1 ~

專書

The current trends of optics and photonics

總編輯 :

Lee, Cheng-Chung (Ed.)

出　版 :

Springer, ISBN 978-94-017-9392-6, 2015

Abstarct:

To deposit a thin film coating with the correct thickness and refractive index is very important for precision optics. There are several methods have been proposed to monitoring the thickness of each layer for a multilayer optical filter during the coating process. Among those methods, the optical monitoring is generally thought better than other methods to manufacture optical filters, because it has error compensations which cannot be provided in other monitor methods. For the manufacture of some delicate optical filters with the high defect rate, the optical monitor with higher monitoring precision and better error compensation ability is necessary.

For thin film stack which is being deposited, the refractive indices of the material usually change and the thickness usually has deviation from the design. Therefore the suitable thickness of the successive layer would not be the same as what we expected in the original design, and the termination point of each thin film layer needs to be revised. However, the conventional optical monitoring methods never analytically solve this problem.

In this book, the optical behaviors of the growing films were analyzed and the corresponding simulations were demonstrated. Sensitive monitoring wavelengths were chosen in the single wavelength monitoring by numerical analysis to achieve precise monitor. Equivalent Optical admittance loci of the deposited films were employed to find the correct error compensation for each layer.

薄膜光學與鍍膜技術(八版)

作　者 :	李正中
出　版 :	藝軒出版社, ISBN 978-986-394-014-2, 2016
簡　介 :	光學薄膜是指在光學元件上或獨立基板上鍍上一層或多層之介電質膜或金屬膜或介電質膜與金屬膜組成之膜堆來改變光波傳遞的特性。所以薄膜光學這一門科學，即在研究光波在這些薄膜中行進的現象與原理。包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位變化等，進而設計及製造各種單層及多層之光學薄膜來達到科學與工程上的應用。本書包含上述之原理解說及實驗介紹，可當教科書、工程師之工具書及研究參考書，適合專業人士和學生研讀。

Optical Admittance Lori Monitoring for Thin Film Deposition

作　者 :	李正中、K. Wu、T. L. Ni 著
出　版 :	LAP LAMBERT Academic Publishing GmbH & Co. , ISBN 978-3-659-00198-7, (2012)

光学薄膜と成膜技術

譯自中文版”薄膜光學與鍍膜技術”

作　者 :	李正中著; 翻譯: (株)
出　版 :	日本出版社 , ISBN 978-4-901496-01-8 C3054 ,(2008年第四刷)

光学薄膜は、光通信、ディスプレイ、光学デバイスなどの応用において大きく発展することが期待される重要な分野である。その基礎から応用までを網羅した本書は、台湾国立中央大学李正中教授によって書かれ、台湾で出版、好評により版を重ねている。次世代光学薄膜の成膜技術の開発を行ってきた株式会社アルバックは、社内に本書の翻訳プロジェクトを組み、このたび日本語版発行がようやく実現した。この分野では数少ない実践的な教科書として役立つこと必至の一冊である。

光電科技概論(Introduction to Optics and Photonics)(第二版)


總編輯 :	李正中、楊宗勳
作者群 :	李正中、楊宗勳、孫文信、游漢輝、陳昇暉、欒丕綱、張正陽、歐陽盟、鄭益祥、鍾德元、陳彥宏、梁肇文、郭政煌、戴朝義、伍茂仁、陳啟昌、孫慶成
出　版 :	五南出版社, ISBN978-957-11-5937-9 , 2010 (2011年5月二刷)
簡　介 :	本書提供一個完整的光電科技學習背景知識，利用少量的數學運算，將箇中要義以口語與圖片深入淺出陳述，適合有志進入光電領域者閱讀。本書依深淺度從基礎篇、進階篇至應用篇引領讀者進入光電科技的殿堂。基礎篇主要介紹光電科技的基礎知識，包括幾何光學、波動光學、干涉光學、傅氏光學、光電學、光電材料及輻射與檢測；進階篇為基礎篇之延伸，包括全像、雷射、非線性、光學檢測、薄膜光學、色彩學、光電半導體、積體光學及光子晶體；應用篇則是舉出當今光電科技常應用的領域，包括微奈米光學、微光機電系統、顯示科技、光通訊、固態照明、光儲存及太陽能光電。本書適用於光電系、電機系、電子系、機械系、材料系、化工系、物理系等理工科系作為光電科技概論之教科書，對於有興趣學習光電科技的社會人士更是值得一讀的入門參考。

專書及書章節著作

中文:

1. 衛泰宇, 李正中, “光學薄膜製鍍技術及應用”, 國科會光電小組, 光電科技資料叢書之二十七, (1998年10月).

2. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第一版, 1999年12月, ISBN 957-616-567-9).

3. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第二版, 2001年1月, ISBN 957-616-620-9).

4. 李正中, “真空鍍膜系統”, “真空技術與應用”第十三章(合著書), 國科會精密儀器發展中心出版, 新竹市, 2001年7月, ISBN 957-02-8675-X.

5. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第三版, 2002年6月, ISBN 957-616-699-1).

6. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第四版, 2004年8月, ISBN 957-616-780-9).

7. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第五版, 2006年7月, ISBN 957-616-884-8).

8. 李正中, “光學鍍膜”, “光學元件精密製造與檢測”第九章(合著書), 國家實驗研究院儀器科技研究中心出版, 新竹市, 2007年5月, ISBN 978-986-81409-3-6.

9. 李正中楊宗勳總編輯, “光電科技概論”, 中央大學光電系全體教師合著, 五南圖書出版公司, 台北, 2008年9月, ISBN 978-957-11-5305-6.

10. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第六版, 2009年7月, ISBN 978-957-616-951-9).

11. 李正中楊宗勳總編輯, “光電科技概論”, 第二版, 中央大學光電系全體教師合著, 五南圖書出版公司, 台北, 2010年3月, ISBN 978-957-11-5937-9. (2011年5月二刷)

12. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第七版, 2012年4月, ISBN 978-957-616-970-0).

13. 中華民國光電學會(擔任召集人), “LED工程師基礎概念與應用”，五南出版社，ISBN：9789571166599 (2012). (Fundamental and Applications of LED Engineers)

14. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術”, 藝軒出版社, 台北, (第八版, 2016年6月, ISBN 978-986-394-014-2).

英文:

1. D. T. Wei, H. R. Kaufman and C. C. Lee, “Ion Beam Sputtering” Chapter of “Thin Films for Optical systems” Ed. By F.R. Flory, Marcel Decker Inc. (1995), ISBN 0-8247-9633-0.

2. C. C. Lee and S. Ogura, “Optical Thin Film and Coatings” in book of “Handbook of Optical Metrology-Principle and Application”, Ed. By Toru Yoshizawa, 2009, CRC Press Taylor & Francis Group, IBSN 978-0-8493-3760-4.

3. C. C. Lee, K. Wu and T. L. Ni, “Optical Admittance Loci Monitoring for Thin Film Deposition" 2012/May, LAP LAMBERT Academic Publishing GmbH & Co. (ISBN 978-3-659-00198-7)

4. C. C. Lee and C. C. Kuo, “Coatings for display and lighting”, Chapter 15 in Book “Optical thin film and coatings” Ed by A. Piegariand and F. Flory, Woodhead Publishing Limited, (ISBN 978-0-85709-594-7) (2013)

5. C. C. Lee ed. “THE CURRENT TRENDS OF OPTICS AND PHOTONICS”, Springer, IBSN 978-94-017-9391-9, 2014

日文:

1. 李正中, “光學薄膜と成膜技術”, ULVAC 譯 (日文), 株式會社成光社, 東京, 2002年9月, ISBN 4-901496-01-8 C3054.

2. 李正中, “光學薄膜と成膜技術”, ULVAC 譯 (日文), 株式會社成光社, 東京, 2003年5月二刷, ISBN 4-901496-01-8 C3054.

3. 李正中, “光學薄膜と成膜技術”, ULVAC 譯 (日文), 株式會社成光社, 東京2005年8月三刷, ISBN 4-901496-01-8 C3054.

4. 李正中, “光學薄膜と成膜技術”, ULVAC 譯 (日文), 株式會社成光社, 東京, 2008年7月四刷, ISBN 4-901496-01-8 C3054.

教授課程

研究團隊

博士後研究員

在學學生

博士生:
碩士生:
學士生:

畢業學生

博士班畢業生:

1. 2006. 陳昇暉 (博士)：次奈米窄帶濾光片的設計與製程和均勻性之關聯的探討

2. 2006. 吳駿逸 (博士)：不同製程下以 Si 與 SiO₂為起始材料所製鍍出的 SiO₂薄膜特性研究

3. 2007. 唐謙仁 (博士)：離子束濺鍍 Ta₂O₅-TiO₂與 Ta₂O₅-SiO₂混合膜之特性研究

4. 2007. 郭倩丞 (博士)：高密度分波多工器 (DWDM) 濾光片的應力與溫飄特性研究

5. 2008. 徐嘉成 (博士)：以同心圓梯度折射率透鏡消像差之研究

7. 2009. 張德宏 (博士)：自我複製結構膜之設計、製作與應用

8. 2009. 鄭雅云 (博士)：以分子動力學與平行運算法研究氬原子團撞擊金屬薄膜及奈米金屬多

層膜之研究

9. 2009. 林主恩 (博士)：平衡偵測雙頻率外差干涉極化儀在磁致旋光效應及醣類變旋動力學之

精密量測

10. 2009. 游智仁 (博士)：共光程外差干涉式橢圓儀

11. 2010. 吳鍇 (博士)：光學導納與動態干涉術應用於光學監控之研究

12. 2010. 古士良 (博士)：紅外光學薄膜之研究

13. 2010. 張銓仲 (博士)：相位編碼元件精度對景深擴張範圍的影響

14. 2010. 廖博輝 (博士)：電漿蝕刻機制於深紫外及透明導電膜之研究

15. 2012. 王宣文 (博士)：以濺鍍法製作矽異質接面太陽能電池之研究: 矽薄膜特性對元件效率的影響

16. 2012 李孟錡 (博士)： 掃描式白光干涉儀應用在量測薄膜之光學常數

17. 2013 賴郁暉 (博士)：低偏壓、高光電效率的微結構光感測器之研究

18. 2014 林宏儒 (博士)：有機薄膜摻入量子點之研究與應用

19. 2014 陳裕仁 (博士)：量子點的光學特性研究及光學應用

20. 2014 羅美鈴 (博士)：藍尾翠鳳蝶(Papilio blumei)的結構色、光學特性與仿生技術之研究

21. 2014謝耀方(博士)： Research and Design of Finite Conjugate Embedded Relay Lens Microscopic Hyperspectral Imaging System (ERL-MHIS) on Oral Cancer in-vitro and in-vivo Application

22. 2015 廖詩芳(博士)：台灣藍鵲與藍腹鷴羽毛結構色之光學模型 (中華民國光電學會2015年度最佳博士論文獎)

23. 2015卓文浩 (博士): 高溫熱處理對光學薄膜特性影響及應用Effect and Applications of High Temperature Heat Treatment on Optical Thin Films

碩士班畢業生:

1. 2006. 謝明倫 (碩士)：薄膜式規則性多孔陽極氧化鋁膜製作

2. 2006. 黃國隆 (碩士)：超晶格結構之硬膜研究

3. 2006. 李坤憲 (碩士)：以陰影疊紋法量測軟性基板之薄膜應力

4. 2006. 張峻領 (碩士)：氟化物混合薄膜於紫外光區之研究

5. 2006. 羅美鈴 (碩士)：可調式自然日光模擬光源之製作

6. 2006. 卓文浩 (碩士)： 193 nm 深紫外光斜向薄膜之研究

7. 2006. 李金翰 (碩士)： 193 nm 深紫外光混合膜之研究

8. 2006. 吳永企 (碩士)：射頻離子束濺鍍 (Ta₂O₅)_X(TiO₂)_1-X混合膜之特性

9. 2006. 陳科良 (碩士)：以透明 MFI 沸石製作抗反射膜

10. 2006. 趙廣雄 (碩士)：三片型鏡組之分析設計

11. 2006. 林祐震 (碩士)：非球面係數對三片型鏡組映像品質影響之分析

12. 2006. 鄭春皇 (碩士)：鋁金屬誘發多晶矽之研究

13. 2007. 練政廷 (碩士)：脈衝式離子源助鍍氟化鎂薄膜之研究

14. 2007. 江直融 (碩士)：交錯傾斜微結構薄膜在深紫外光區之研究

15. 2007. 李孟錡 (碩士)：利用 Hartmann-Shack 波前量測儀重建波前像差

16. 2007. 黃柏諭 (碩士)：以奈米壓印改善陽極氧化鋁週期性

17. 2007. 韓嘉緯 (碩士)：以射頻磁控濺鍍法鍍製含氫微晶矽薄膜並探討其應用於薄膜太陽能電

池之可能性

18. 2007. 廖詩芳 (碩士)：符合人眼色差知覺之均勻色彩空間

19. 2007. 蘇韋寧 (碩士)：以脈衝直流磁控濺濺鍍法製作含氫非晶矽薄膜於太陽電池之應用

20. 2007. 張明生 (碩士)：具膜厚補償效益之新型光學監控法

21. 2007. 郭文政 (碩士)：偏振 OLED 之研究

22. 2007. 黃建豪 (碩士)：脈衝直流濺鍍法製作參雜氮之二氧化鈦

23. 2007. 林志雄 (碩士)：使用反應濺鍍法於朔膠基板上製鍍抗反射膜之研究

24. 2008. 周永芳 (碩士)：小尺寸背光模組導光板微結構設計

25. 2008. 林宏儒 (碩士)：含氫矽薄膜太陽電池材料之光電特性研究

26. 2008. 徐聲豪 (碩士)：溫度及應力對高密度分波多工器 (DWDM) 濾光片中心波長飄移之研

究

27. 2008. 馬聖茹 (碩士)：膜堆光學導納量測儀

28. 2008. 葉渝雯 (碩士)：自我複製結構膜光學性質之研究

29. 2008. 劉又齊 (碩士)：離子助鍍對二氧化鈦光觸媒薄膜之研究

30. 2008. 鄧旭軒 (碩士)：以射頻磁控濺鍍法鍍製 P 型和 N 型微晶矽薄膜之研究

31. 2008. 謝宏健 (碩士)：以奈米小球提升矽薄膜太陽能電池吸收之研究

32. 2008. 楊仕勤 (碩士)：氧化鎂薄膜作為電極保護膜之研究

33. 2008. 盧韋源 (碩士)：以直流磁控濺鍍法在玻璃與 PET 上製作 TiO₂薄膜之光學與機械性質

之研究

34. 2008. 林侑陞 (碩士)：聚光型太陽能電池模組接收器之二次光學元件設計與分析

35. 2008. 蔡宗典 (碩士)：超薄 ITO 透明導電膜應用在觸控面板之研究

36. 2009. 張逸謙 (碩士)：脈衝式離子源助鍍氟化鑭薄膜之研究

37. 2009. 傅思維 (碩士)：定光電流量測法在氫化矽薄膜特性的研究

38. 2009. 胡遠智 (碩士)：使用過度修補方法於光罩上瞎窗缺陷修補之研究

39. 2009. 蔡榮烈 (碩士)：負折射率材料應用於抗反射與窄帶濾光片之設計

40. 2009. 翟光耀 (碩士)：光子晶體偏振分光鏡之設計與製作

41. 2009. 周凌毅 (碩士)：反應式濺鍍過渡態矽薄膜之研究

42. 2009. 周明賜 (碩士)：偏壓對射頻濺鍍非晶矽太陽能薄膜特性之研究

43. 2009. 顏嘉宏 (碩士)：表面電漿共振系統之相位擷取與分析

44. 2009. 陳巧瑄 (碩士)：利用主成份分析法設計與製作色度儀所需之濾光片

45. 2009. 李佳真 (碩士)：直流磁控濺鍍氧化膜界面應力之研究

46. 2009. 唐敬堯 (碩士)：電漿鍍膜以 HMDSO 鍍製有機矽膜之特性研究

47. 2009. 吳肇元 (碩士)：動態干涉儀量測薄膜之光學常數

48. 2009. 陳律融 (碩士)：相位干涉影像式橢圓儀

49. 2010. 王一大 (碩士)：含氫非晶質碳薄膜的拉曼光譜特性研究

50. 2010. 葉佳良 (碩士)：以光激發螢光影像量測矽太陽能電池額外載子生命期及串聯電阻分佈之研究

51. 2010. 施怡婷 (碩士)：奈米小球微影法在太陽能電池表面粗化上的研究

52. 2010. 黃新偉 (碩士)：非真空 CuInGa(Se,S)₂薄膜太陽能電池之研究

53. 2010. 蕭為元 (碩士)：抗反射膜在顯示技術與太陽能吸收之研究

54. 2010. 彭思翔 (碩士)：高折射率 TNO 透明導電薄膜及其應用於高反射鏡設計之研究

55. 2010. 魏子喬 (碩士)：投光方向聚集濾光片之研究

56. 2010. 陳品任 (碩士)：以金屬錫為靶材利用脈衝直流磁控濺鍍法鍍製 FTO 薄膜之研究

57. 2010. 王淳弘 (碩士)：自我複製式偏振分光鏡製作與誤差分析

58. 2010. 劉奕宏 (碩士)：多波長光學常數量測之研究

59. 2010. 許俊哲 (碩士)：負電荷介質材料在 MIS 太陽電池之研究

60. 2010. 張庭維 (碩士)：已定光電流量測之吸收係數分析矽薄膜缺陷密度之研究

61. 2010. 謝佾儒 (碩士)：表面電漿共振儀之動態相位偵測技術與微量生物分子檢測應用

62. 2010. 詹智超 (碩士)：全固態反射式電致色變元件之光學常數量測與對比度研究

63. 2011. 鐘穎昌 (碩士): 以螢光訊號量測單晶矽太陽能電池物理參數之空間分布

64. 2011. 陳柏丞 (碩士): 非(微)晶矽薄膜太陽能電池之能隙結構研究

65. 2011. 蕭義勝 (碩士): 使用白光干涉儀以基因演算法從反射光譜振幅計算光學常數

66. 2011. 蔡淑惠 (碩士): 具光觸媒特性之TNO透明導電薄膜研究

67. 2011. 劉金讓 (碩士): 觸控面板之高片電阻透明導電膜導電機制研究

68. 2011. 陳煒 (碩士): 用奈米小球微影法製作多晶矽太陽能電池表面結構

69. 2011. 許閔 (碩士): 週期性奈米金屬結構對拉曼散射訊號增強之研究

70. 2011. 許峰誠 (碩士): 以射頻濺鍍製作異質接面矽太陽能電池之研究

71. 2011. 張鴻聖 (碩士): 相移式干涉儀之系統校正及量測軟體的撰寫

72. 2011. 孫惟哲 (碩士): 含氫之氧化鋅鋁透明導電膜的熱穩定性研究

73. 2011. 倪子凌 (碩士): 利用廣波域光譜實現光學薄膜之即時導納軌跡監控

74. 2011. 呂聿堂 (碩士): 不連續製鍍法降低高反射鏡之薄膜應力

75. 2012 李文馨 (碩士): Papilio blumei 蝴蝶的顏色與構造

76. 2012沈家裕 (碩士): 使用空間載頻相位偏移技術量測薄膜的表面輪廓及厚度

77. 2012何孟晏 (碩士): 廣波域擷取即時反射係數軌跡之光學監控鍍膜研究

78. 2012林峻平 (碩士): 探討硫化鎘緩衝層之離子擴散處理對CIGS薄膜元件效率影響

79. 2012黃昱嘉 (碩士): 自我複製式藍光波段全方位反射鏡

80. 2012林俊佑 (碩士): 電激發有機雷射微共振腔研究

81. 2012宋永舜 (碩士): 導電布拉格反射鏡運用於高效率發光二極體之研究

82. 2012游政璋 (碩士): 點接觸電極與背面鈍化層結構對異質結構太陽能電池效率之影響

83. 2012許捷翔 (碩士): 利用陽極氧化鋁薄膜在矽太陽能電池表面製做抗反射奈米結構

84. 2012魏敬倫 (碩士): 以直流反應磁控濺鍍搭配HMDSO電漿聚合鍍製二氧化矽摻碳氣體阻障層之研究

85. 2012 吳錚 (碩士): 以射頻濺鍍製作HIT太陽能電池之研究

86. 2013 施晨翔 (碩士): 利用廣波域光譜擷取即時反射係數軌跡監控並鍍製窄帶濾光片之研究

87. 2013 黃聖淼 (碩士): 多層式雙極有機場效電晶體之研究

88. 2013 陳柏廷 (碩士): 有機波導結構的ASE現象研究以及共振腔結構的模擬

89. 2014 楊昀融 (碩士): 量子點窄帶慮光片

90. 2014 朱曉彤 (碩士): 奈米壓印複製Papilo blumei 蝴蝶表面的疏水性質Mimic hydrophobic surface of Papilo blumei by nanoimprint lithography

91. 2014 余季欣 (碩士): 量測反射係數探測光學薄膜之特性 Optical thin film characterization via the measurement of reflection of coefficient

92.

學士班畢業生:

實驗室招生資訊

歡迎對光學薄膜製程、光學薄膜應用、光學薄膜量測感興趣的同學加入。

實驗室活動相片

2016 OIC 研討會合照