學術研究
畢業論文
光學薄膜折射率與帶通濾光片薄膜厚度之研究
姓名 : 鍾瀞儀
指導教授
陳昇暉
論文摘要
本篇論文研究是關於光學薄膜的設計,在1930年代,真空蒸鍍設備出現後,光學薄膜才真正的開始發展,之後因軍事發展所需,更加快了光學薄膜的進步速度,進步至今,光學薄膜的應用已極為廣泛,從我們最常接觸到的民生用品,再到光學通訊、半導體產業、太空科技的應用…等。
伴隨著積體電路(IC)及半導體產業的蓬勃發展,人們對光學薄膜的需求及品質的要求也不斷提高,追求的是厚度越來越薄且體積越來越小,功能卻需更強大的濾光片,濾光片主要用途為選擇可透射的波長,使其通過,限制不可透射的波長,使其截止,利用多層膜的疊加做到濾光的效果。本篇論文是選用二氧化矽作為低折射率材料,再搭配五氧化二鉭、二氧化鈦、氫化矽及鍺,這四種具有不同材料特性的高折射率材料,並使用兩種設計方法,一種為長波通濾光片、短波通濾光片的合併設計,另一種為帶通濾光片,針對選用材料的區別、設計方式的差別、優化層數的不同,可做出表現各不相同的帶通濾光片,進而選用較符合需求的帶通濾光片。