賴昆佑

近年來鈣鈦礦深受業界的喜愛，除了可以應用在傳統能源，未來也可以應用在農業、建築、航太等不同領域。由於鈣鈦礦的吸光效率很高，可以將吸收到的光子快速的分離成電子及電洞，並傳遞到電極而生成電流，雖然鈣鈦礦的優點很多，但鈣鈦礦也十分容易受到環境的影響，不管是環境的濕度、溫度及光照都會使電池的效率降低。本研究提出一種改善鈣鈦礦太陽能電池效能的方式，我們使用兩步化學氣相沈積法將MAI沈積在事先準備好的PbI2薄膜上，藉此轉換成鈣鈦礦。 除此之外，我們也研究奈米球微影的製程步驟，我們使用實驗室的奈米球自組裝排列出大面積的奈米球週期陣列，利用黃光微影製程的曝光顯影來製作出光阻空洞，並使用斜向蒸鍍Cr來維持空洞大小及做為氧電漿蝕刻時光阻空洞的保護層，再正向鍍SiO2、Ag來製作出足夠小顆的Ag，並在暗場顯微鏡下觀察金屬的散射光來確認disk上的銀是否足夠小顆。