學術研究
畢業論文
投射式移相弦波用於微小物體形貌量測之研究
姓名 : 方筱喬
指導教授
孫慶成
論文摘要
本論文介紹利用五步相位移的方式重建微小物體的三維輪廓，而相位 輪廓儀對於條紋相位的精確度要求相當高，因此本論文使用經特殊設 計的穿透式光罩通過成像系統投影出接近完美正弦波之投影條紋，再 透過傅立葉轉換濾波以及平均化之方法過濾影像雜訊使條紋更加精 確。透過多張影像平均法，拍攝所得之條紋灰階分布與理想正弦波之 擬合度可達到 0.9907，參考平面之條紋灰階分布可再透過傅氏轉換濾 波使擬合度達到 1。 使用標準球作為待側物，透過本系統量測之平均曲率半徑為 22.494 mm，標準差為3
