學術研究

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畢業論文
非球面波前量測之對位方式研究 姓名 : 鄭百翔

指導教授
梁肇文


論文摘要
隨時代日新月異,小型鏡片因市場需求,往越來越多且越來越廣的方向發展,但要想全檢測小型鏡片且同時到高速且準確地量測,目前市面上檢測機器都難以做到。本實驗室先前有開發自動化波前檢測設備儀器,其目的為快速而又高通量來解決需要大量檢測小型鏡片的需求。其優勢為單一顆鏡片的一個量測週期只需在十秒內,再者非接觸式量測的架構,能使鏡片壽命大大提升,即便是檢測完的鏡片依舊可以實裝在光學元件上使用。 對應到此儀器設備高速、高通量的檢測,有一個完整的校正的步驟流程相當重要,而後續再了解在整個量測系統上,其對待測鏡片的量測精度範圍落在何區間,是很有必要的。故本實驗針對量測系統架構上,在align待測鏡片的量測位置步驟中,以及重複取放得量測下,所有會對軸上量測的共軛位置距離產生誤差,進而影響待測鏡片量測的power誤差項,去做整理歸納。



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