郭倩丞

此篇論文研究是以 Linnik 干涉儀架設，使用彩色偏振攝影機， 完成即時動態干涉量測系統的架設，其量測功能可用於量測反射光 譜與反射相位光譜並過攝影機的貝爾濾波片同時得到多波長的量測 資訊。多波長量測系統之標準片量測，其誤差為 1.46%，標準差為 ±0.201%，對薄膜樣品量測結果之誤差均小於 1.11%。 該量測系統結合了偏振顯微系統完成偏振相位量測，使用彩色 偏振攝影機藉由超像素分配設計並進行算法校正，將原本只能用於 測量線偏振之彩色偏振攝影機用於測量圓偏振，且利用程式修正因 為機械結構所造成的光學現象。 藉由算法與程式上的修正，可以減緩動態干涉儀的量測結果受 到元件設備品質所帶來的影響，例如在光強度不均勻等情況下能夠 通過程式校正，還原待測物的測量結果。利用提前以偏振相機校正 系統建構的程式計算，量測穿透光之偏振態，並利用干涉光之偏振 態還原其相位。在文章的結果討論中與其他測量方法的資料進行比 對以驗證該量測系統在量測上的準確度。