陳昇暉

近年來受新冠疫情影響，人類生活方式有著重大轉變，在減少人與人直接接觸的同時，仍需兼顧正常的資訊交流，因此需更多視訊顯示設備；以及智慧、自駕車在市場上關注度日漸攀升，連帶汽車內部相關顯示器需求提高。發展至今，多數顯示器仍依賴技術成熟且成本低廉的a-Si TFT LCD為主，然而a-Si材料有者致命的缺點，在於其載子遷移率無法提升，來滿足高端顯示器產品需求，因此科研人員積極尋覓其他材料做替換，有各種新興材料被提出與研究，其中就屬IGZO表現最為出色，能有高遷移率、低漏電流、均勻性和適合低溫製程等優勢。 本論文研究主軸會分為兩部分，第一部分會以脈衝式磁控濺鍍法沉積IGZO薄膜，透過調變UV光照基板的時間以及薄膜氧氣通量，並利用Hall、XRD與AFM量測證明，利用此方法能製作出載子濃度高，且表面粗糙度低的高品質薄膜；第二部份，則是將濺鍍的高品質薄膜，藉由黃光微影製程為薄膜電晶體，首先會去調製最合適的氧氣通量與通道層厚度，最後會將通道層分為雙層，進一步優化元件載子遷移率以及On/Off ratio。