梁肇文

Shack-Hartmann Wavefront Sensor 是由微透鏡陣列以及 CMOS Sensor 組 合而成，故須先對其進行校正，本實驗透過三維座標系統以及雙軸精密光學 編碼器旋轉平台對 Shack-Hartmann Wavefront Sensor 進行校正，為每顆微透 鏡陣列建立點擴散函數與入射角的關係，並且透過低熱膨脹係數的材料將 微透鏡陣列與 CMOS Sensor 相互固定，以減少熱能對 Shack-Hartmann Wavefront Sensor 所造成的量測誤差，在 CMOS Sensor 方面則透過積分球以 及高動態範圍影像 (High Dynamic Range，HDR)來減少 CMOS Sensor 自身 雜訊對量測所造成的誤差量。 透過改變 HDR 疊圖張數並且觀察其量測數據重複性的變化，用以驗證 HDR 能夠有效減少 CMOS Sensor 雜訊對 Shack-Hartmann Wavefront Sensor 所造成的影響，有助於提高 Shack-Hartmann Wavefront Sensor 量測精度及重 複性，並且對校正完畢的 Shack-Hartmann Wavefront Sensor 進行焦點位置誤 差量測以及多角度下波前誤差量測，並且對其進行重複性量測，用於驗證 Shack-Hartmann Wavefront Sensor 的在焦點量測以及波前量測的精度以及重 複性。