李正中

基於光的波動特性，一般光學系統之空間解析度受繞射極限的影響而無 法辨析大小小於波長的二分之一的物體，此乃因為帶有細節訊號的高空間 頻率訊號為指數衰減的倏逝波，所以於本文中探討的超透鏡則可以突破繞 射極限，來達到次波長成像。 本文分兩部分，分別為介電質∕金屬膜層堆疊的三層超透鏡和多層超透 鏡，並利用數值模擬軟體COMSOL Multiphysics 做電磁模擬並對此進行分析，在三層超透鏡本文去比較不同膜層厚度對次波長成像之影響；而多層超透鏡，本文分別探討其不同介電質∕金屬之組合、不同膜層厚度和不同對數的影響下對其影響。經由模擬後可得三層超透鏡ZnO(20 nm)∕Ag (30 nm)∕ZnO(20 nm)在光波長365 nm，解析度可以突破繞射極限達到 80 nm，而多層超透鏡Ag(12 nm)/(Ta2O5(8 nm)/Ag(12 nm))*3解析度能夠突破繞射極限達到40 nm