梁肇文

在大型精密光學系統檢測中，常使用干涉儀作檢測工具，利用參考光與待測光的光程差（Optical Path Difference, OPD）產生干涉條紋，並以其干涉條紋變化量來重建波前並分析樣待測系統資訊。另一種量測方法為波前量測，其Shack-Hartmann波前檢測器即為其中一種，紀錄參考光與待測光通過微透鏡陣列聚焦到感光元件上的光點位置，計算兩者的位移量即可得到該透鏡所擷取到的波前斜率，並以此重建待測波前分析像差。 儘管干涉儀以高量測精度聞名，且因Shack-Hartmann波前檢測器量測空間解析度受微透鏡陣列所限制，故干涉儀空間解析度也比Shack-Hartmann波前檢測器優良許多，但因其本身體型巨大以及較低的動態範圍限制，在某些大型光學系統量測中並不適用，且在實際使用上，依照不同的待測元件，干涉儀需更換不同的標準鏡以匹配該元件，若待測元件為雙曲面或橢圓面等非球面鏡，還須搭配Null Optics才能量測，在使用彈性及方便度這方面Shack-Hartmann波前檢測器更勝一籌。 因此，為評估Shack-Hartmann波前檢測器應用於中大型光學系統檢測之可行性，本論文利用本實驗室開發的高動態範圍Shack-Hartmann波前檢測器 量測中大型光學鏡片及已光機整合之光學系統，並利用相機曝光控制達到高動範圍取像，並將其重建波前資料與Fizeau干涉儀H2000比對，也額外量測商業鏡頭並以重建波前輸出全域MTF，並與MTF儀作性能比較。