陳彥宏

遙測酬載儀器主要分為電子單元(EU)及遙測取像儀(Telescope)，遙測取像儀中包含了重要的光學元件，其中光學主、次鏡與帶通濾光鏡陣列，需要高精密度的鍍膜技術才得以完成。本文利用離子源輔助電子束蒸鍍系統進行多層膜之製程，提高膜層製作之穩定度與薄膜光學品質以符合太空上之規格，並輔以高精度光學監控光學薄膜製程厚度，以提高帶通濾光鏡穩定性、良品率，降低人工及物料成本，利用Macleod 薄膜軟體成功設計出符合太空規格之薄膜堆疊設計，並利用微圖化方式進行製鍍光學薄膜，成功製鍍出間距700~800µm 線寬之濾光鏡，改善邊緣遮蔽效應，並進行製鍍PAN filter 與 B1-B4 filter，其通帶平均穿透率為 80％以上，止帯之平均穿透率皆在 0.5％以下。並進行與通過太空環境檢測。大口徑銀鏡膜層設計利用 Macleod 薄膜設計模擬軟體進行保護層的最佳化設計，使保護層做了提升銀鏡反射率的設計，並利用大口徑光學玻璃清洗機與大口徑精密光學鍍膜機進行製鍍，製鍍出反射率、附著力佳，且能有效抵抗環境影響產生硫化變質或氧化變黑的銀反射鏡，保護層如預期地提升了反射率，使 450nm～900nm 平均反射率達 98.5%。