賴昆佑
簡汎清

表面增強拉曼散射(surface enhanced Raman scattering, SERS)可大幅提升分子的拉曼散射訊號，已逐漸成為分子診斷的有效工具。在本研究中，我們以鍍金(Au)奈米顆粒的氮化銦鎵(InGaN)微米量子井，作為新型的SERS基板，並以此檢測單股去氧核醣核酸(single-stranded deoxyribonucleic acid, ssDNA)及葡萄糖(glucose)。透過製程上的優化，包括金屬厚度、包覆層厚度、氫氣的蝕刻、退火溫度，來增強分子的SERS訊號。這些製程條件的優化，是為了提升基板表面的局部表面電漿共振(localized surface plasmon resonance, LSPR)和電荷轉移共振(charge transfer resonance, CTR)的強度。我們發現以厚度50nm的金、300℃的退火溫度來製作金奈米顆粒，可以得到最佳檢測效果，以此條件製程的InGaN SERS基板，可檢測濃度低至10-4 M的ssDNA和1 g/L的glucose。