張正陽
伍茂仁

本論文提出適用於粗波分多工(Coarse Wavelength Division Multiplexing,CWDM)系統之四波長高分子聚合物陣列波導光柵(Arrayed Waveguide Grating,AWG)多工器。傳輸端不使用透鏡將四個波長之雷射光耦合進入矽基高分子聚合物陣列波導光柵多工器中，設計將雷射、四波長高分子陣列波導光柵多工器整合於同一平台之光學引擎。 由模擬結果得到:本實驗室所設計的高分子聚合物陣列波導光柵多工器，四個通道的中心波長分別為1.271微米、1.291微米、1.311微米及1.331微米，與理論設計相差約1奈米。波長1.291微米和1.311微米通道在沒有任何優化結構的情況下，插入損耗小於3 dB，波長 1.271微米和1.331微米之通道，插入損耗小於4 dB。 經半導體製程，將所製作之高分子聚合物鐘形彎曲光波導進行結構尺寸及光學耦合效率之量測。實際量測到高分子聚合物鐘形光波導平均寬度為6.7微米與設計值7微米有著平均4.29%的誤差，光波導平均高度為5.68微米與設計值7微米有著平均18.81%的誤差。而高分子聚合物鐘形彎曲光波導耦合效率之模擬值與實際量測值有著平均45.56%的誤差。