陳昇暉

使用紅外線熱影像量測太陽能電池已成為研究重點之一，尤其在歐洲已經逐漸成為電站驗收與維運的標準測試項目。目標製作遠紅外線抗反射光窗輔助熱影像儀檢測太陽能電池。研究重點在於利用高純度的矽晶圓當作光窗基板，並鍍上高低折射率堆疊的紅外線光學膜；高純度的矽晶圓在紅外線波段的光學穿透率高，且成本較鍺晶圓低，適合當作新一代的紅外線光窗材料。此外，配合高低折射率的光學膜可增加紅外線穿過矽晶圓的穿透率。傳統使用的遠紅外線光學膜材料大多有毒性或放射性，因此本研究使用氧化鋅搭配純矽當作高低折射率的材料，並使用高能磁控濺鍍系統，能將氧化鋅薄膜及矽薄膜維持在固定的折射率，穩定製程。最後透過柯西公式以及多層膜的堆疊設計達到抗反射的效果。