賴昆佑

本篇論文為探討在雙面拋光的藍寶石基板上，透過有機金屬化學氣相沉積法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)，所成長之氮化鎵 /氮化銦鎵(GaN/InGaN)多重量子井，蒸鍍上金、銀交錯的金屬層，再利用退火、濕蝕刻製程，產生具奈米孔洞的黃金層。此奈米金屬層能與量子井產生局部表面電漿共振(Localized Surface Plasmon Resonance, LSPR)，提升螢光分子附近的局部電場強度。 我們以光致螢光頻譜(photoluminescence)，探討表面折射率變化所造成的光譜強度變化，同時藉由掃描式電子顯微鏡 (scanning electron microcopy)，觀察奈米孔洞金屬的表層結構。為了要驗證 LSPR效應，我們將 R6G (rhodamine 6G)螢光分子塗佈在奈米孔洞金屬表面，以拉曼頻譜分析 R6G所產生的散射訊號。我們發現 : 與平坦的黃金層相較，奈米孔洞金屬層並沒有明顯增強 R6G的散射強度，此結果顯示金屬層的孔洞直徑、密度、分佈面積都需要更多的製程優化，才能產生有效的 LSPR效果。