梁肇文

成像光學系統的檢測，在現今的產業界中，缺乏一個完善的檢測儀器，針對光學系統中的各種製造誤差進行有效率的量測．光學系統的製造誤差包含了單一元件的偏心、傾角誤差與厚度誤差，以及各元件之間的偏心誤差、傾角誤差與距離誤差．現有的量測儀器中，包含了探針式表面輪廓儀、干涉儀、自準直儀與MTF檢測儀等，這些儀器均無法有效率且完整的檢測各種系統中的製造誤差． 本篇研究論文，提出了一個全場波前檢測架構，並使用本實驗室研究與開發多年的高動態範圍Shack-Hartmann波前檢測器，對一微型光學系統進行全視場的波前掃描．根據離軸像差理論，分析各視場的波前像差，進行全場像差多項式的數學擬合，根據量測到的非軸對稱像差的數據，計算待測光學系統的系統誤差． 有別於其他光學檢測設備，此全場波前掃瞄系統可以應用於各種光學元件或是成像系統的檢測，無論是單片光學元件、組裝完成的光學成像鏡頭，或是未組裝完成的光學成像系統．