郭倩丞

隨著科技的發展，各項產品及設備中所使用的光學元件如反射鏡、各類型的透鏡、稜鏡、分光鏡…等等均被廣泛的使用，而光學元件的品質會直接影響一個光學系統的好壞，因此檢驗光學元件的技術就顯得相當的重要。 本文以掃描式白光干涉技術配合包絡法掃瞄並紀錄干涉訊號的強度，並透過數學計算將干涉強度轉換成相位資訊，再以目前常見檢測技術中非接觸式的子孔徑相位拼接技術，將光學元件的表面予以還原，在過程中，為了要量測多個區域的相位資訊，需要移動被測元件的位置，而此一步驟會導致干涉訊號消失，需要手動調整，不過調整的過程中無法精確的調整到干涉訊號最強的位置，這樣可能會導致掃描後所還原的相位資訊產生誤差甚至是遺失。 因此，本研究引入被動式自動對焦演算法，以邊緣檢測的數學運算為基底，搭配垂直移動之電控平台，紀錄影像強度後計算對焦值，並自動尋找出干涉訊號明顯的位置，以解決相位資訊不完整導致子孔徑拼接誤差產生的問題。