選單開關 研究團隊與領域 研究實驗室介紹 畢業論文 教授專書介紹 學術研究 首頁 學術研究 畢業論文 畢業論文 薄膜電晶體液晶顯示器精度提升之研究 姓名 : 陳俞文 指導教授 張榮森 論文摘要 本論文針對薄膜電晶體液晶顯示器於微影製程時，對於電極圖案進行細線寬優化的方法。過去進行微影製程時，僅利用曝光機之曝光能量(exposure dosage)，對產品精度進行調整與控制，以至於產品精度低於預期。本文提供之方法，不僅使用曝光能量，並針對光阻厚度、及顯影時間進行田口實驗，使細線精度由3.5μm，優化至3.25μm以下，並使良率維持在97.5%以上 。
