李正中

本篇論文主要是架設一Twyman-Green干涉儀，並利用空間光調製器實現相移，完成一套相移干涉量測系統。實驗使用500、550、600、650和700 nm五個波長進行多波長分析，對標準片進行量測，量測高度為442.1 ± 2.7 nm，與標準皆高比較之誤差為1.03%。 多波長系統可以量測反射率光譜和分析反射相位，反射率光譜誤差為2.87%，標準差為0.08%；而反射相位光譜誤差為0.26%，標準差為0.055 rad。 本實驗利用程式消除光源照度不均和元件自我干涉的情形，還原物體表面強度分布，使得分析能夠更精確。利用簡形優化演算法，將反射率光譜和反射相位光譜代入適應函數做評比，得到薄膜折射率和厚度，誤差分別為0.10%和-0.46%。