選單開關 研究團隊與領域 研究實驗室介紹 畢業論文 教授專書介紹 學術研究 首頁 學術研究 畢業論文 畢業論文 薄膜應力量測之研究 姓名 : 馬群昇 指導教授 李正中 論文摘要 本論文提出一可量測八吋基板薄膜應力的量測系統，以懸臂法作為基礎改良之量測系統，試片以雙電子鎗蒸鍍機進行鍍製，試片完成後以垂直放置的方式固定於載台後，掃描其表面輪廓。觀察掃描點的偏移量，經數學計算後，推得出物體的曲率半徑，進而得到其薄膜應力的數值。量測系統具有即時性、操作簡易等優勢。並以雙電子鎗蒸鍍機鍍製兩高反射鏡，在有限的空間中提升量測系統之精度，並輔以Macleod模擬軟體驗證實驗之結果。
