陳昇暉

本論文主旨為在短波紅外線(Short Wave Infrared, SWIR)波段內用馬賽克(mosic)排列方式製作出一片具有四種窄帶濾光功能的陣列濾光片，若將此濾光片結合640 X 512像素焦平面感測器(focal-plane array (FPA) image sensor)，將可在SWIR波段內即時呈現出四種對應的影像將可提供軍事偵察、穿透煙霧環境影像及夜視之功能。 四窄帶陣列濾光片的中心波長分別為905nm、950nm、1055nm、1550nm，經光學薄膜設計出所需膜層後，運用微影曝光製作出圖案，藉由雙電子槍離子助鍍鍍膜機製作薄膜，經重複四次微影、鍍膜完成後再加入金屬遮光層來避免不需要的波段穿透濾光片的陣列縫隙，即完成四窄帶陣列濾光片的製作。