學術研究

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畢業論文
單晶銅成長石墨烯及其可撓性之研究 姓名 : 紀堡鐘

指導教授
陳昇暉
郭倩丞

論文摘要
石墨烯具有高電子遷移率、高導電性、高穿透性、高機械強度,利用於電子元件製備與透明導電膜研究上受到重視。目前大多使用多晶銅箔利用化學氣相沉積法來製備高品質石墨烯,而不同晶向之銅表面與石墨烯之晶格匹配度不一致,所生長石墨烯單晶會產生不同方向性,導致晶界接合處產生較大接合缺陷,阻礙了電子的傳導,並降低其導電特性。 本研究利用化學電鍍剝離法製備表面為銅(111)之銅箔,並利用化學氣相沉積法成長石墨烯,透過製備單一晶向銅箔,降低晶格匹配度所造成之缺陷來成長單一方向性之石墨烯單晶,減少邊界接合缺陷產生,並與目前化學氣相沉積法於多晶銅箔之表面形貌、片電阻、載子遷移率、光穿透率、拉曼訊號比較,證實有較佳之品質。並運用此方法製備石墨烯並轉移至軟性基板上,並進行撓曲度量測,驗證石墨烯比起現今透明導電膜有較佳之可撓性,使其能運用取代現今之透明導電薄膜。



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