陳怡君

　　光學檢測技術在科技上，一直都扮演著十分重要的角色。而一個光學系統，反射鏡和各類型透鏡都會被廣泛使用在其中，這些光學元件的好壞會直接影響成像的品質。因此，在製造光學元件的過程中，檢測其平滑度、弧度、對稱性等都是十分重要的，以求達到光學系統的需求以及可容忍的誤差範圍內。 　　現行光學檢測的方法主要分為兩種，分別為接觸式和非接觸式。本論文研究的方向在非接觸式的光學檢測系統上，並利用子孔徑接合干涉術得到待測元件之相位。當中每個子孔徑會依照量測時的空間座標位置，以幾何換算後放置到電腦數據端的座標位置上，因此，定位會直接影響子孔徑接合結果的精確性。不過，在干涉儀對準的過程中，因為機器的限制、位置估算的誤差與微震動等，都會造成子孔徑位置的不確定性。 　　因此，本研究引入相位差分作為位移補償器，開發出子孔徑位置校正演算法來校正子孔徑位置的不確定性，並先透過模擬的方式驗證。當中從較簡單的單環子孔徑結構延伸至較複雜的多環結構，結果顯示，經校正後的位置誤差小於0.001個像素，相位接合誤差之均方根值在10-6波長等級。最後，再利用實驗數據來進一步的改良與驗證演算法之可行性與精確度。結果顯示，位置校正後，相位接合誤差之均方根值比校正前降低約10%。