陳昇暉
梁肇文

焦平面量測方法，像是Shack-Hartmann 波前感測器或是相移式條紋投影術，在光學量測的領域裡都非常具有價值。在本篇研究裡，我們提出一個全新的波前斜率量測方法。藉由掃描式振片雷射投影機，高斯光束將會掃描待測光學系統的入瞳。此外，藉由調節角度空間的座標以及四步相移的運算，橫向像差可以依此重建。然後即可利用兩個正交方向的橫向相差，進而重建波前相差。如此即可避免繞射的限制對系統的影響，並且因為此系統解析度決定於CCD像素的使用數目，因此系統重建的波前擁有充足的解析度。我們會利用CodeV模擬此系統，並且預測這個系統量測的結果。並將此系統量測的波前像差與Fizeau干涉儀量測的波前像差以Zernike多項式的項次進行比較，以驗證此系統的量測結果。 除此之外，我們對掃描式雷射投影機的能力進行測試。振片面鏡的穩定度大約為1/10個角像素。然而，藉由投影機的非線性分析中，投影機的灰階度被發現僅約30。這也是為何量測結果與Fizeau干涉儀相比之下有誤差的主要原因。 在未來中，藉由控制高斯光束的半徑，此系統將可被應用至小型光學系統的量測當中。此外，藉由三個不同波長的雷射二極體，此系統也可以發展成單張圖片量測系統。