學術研究
畢業論文
具矽基45˚ 微反射面之2 × 2非共平面高分子聚合物波導光路
姓名 : 曾茂元
指導教授
伍茂仁
論文摘要
本論文提出一個具矽基 45˚微反射面之高分子聚合物波導光路,
由兩個 Y 型分光波導上下相疊而成,並搭配 45˚反射面達到三維空間
的轉折光路。各別 Y 型波導輸入端寬高為 60 × 30 μm2,加上中間厚
度約 3 μm 之隔離層,最後形成輸入端寬高為 60 × 63 μm2,輸出端部
份為兩組 30 × 50 μm2之輸出端點。輸入光源為 850 nm 之雷射導入直
徑 62.5 μm 之多模光纖,以單一光源同時輸入兩組 Y 型分光波導,最
後輸出 2 × 2 共 4 個輸出點。
整體光路之架構以單一光源導入上下兩組 Y 型波導後,於輸出
端形成 2 × 2 的輸出光點,最後經過 45˚微反射面形成 90˚光路轉折,
導入感光耦合元件中。
本研究完成非共平面之長直波導與具 45˚反射面之高分子聚合物
光路之光學模擬、製程與光學特性量測,以多模光纖作為輸入光源時,
可看到四個清淅之光點,各光輸出口有 4~5%的光耦合效率。