學術研究
畢業論文
以量測反射係術探測光學薄膜之特性
姓名 : 余季欣
指導教授
李正中
論文摘要
本文分為兩部分，在模擬部分我們模擬了高低折射率材料的反射光譜及反射相位，比較了使用反射光譜和反射係數去擬合光學常數的準確性，成功的證明藉由量測反射係數可提高基因演算法在計算上的準確性。在實驗部分我們藉由掃描式白光干涉儀量測光學膜的干涉條紋，再經由傅利葉轉換求得反射振幅及反射相位，在量測上我們比較量測樣品四個不同區域的結果，確定實驗上的穩定性，接著利用兩者資訊搭配基因演算法擬合出折射率和厚度，實驗的結果和橢偏儀做比較，其計算結果和橢偏儀相近，証明了此實驗方法的可行性。
