梁肇文

本論文從傅氏光學來分析光學系統的相位函數，也就是成像像差。首先利用Slanted edge量測方法，並加以改進量測方法讓所獲取的量測資訊能夠更不受雜訊的影響，因為量測方法所得到的資訊就是線擴散函數(Line Spread Function,以下簡稱LSF)或者是點擴散函數(Point Spread Function,以下簡稱PSF)，此兩函數在傅氏光學中對於透鏡的成像分析扮演著很重要的角色。在傅氏光學中光瞳函數(Pupil function)與剛剛所提到的LSF與PSF為傅立葉轉換的關係，因為存在著傅立葉轉換的關係，所以可以藉由相位回復演算法進行迭代運算出LSF和PSF中的相位函數，而此相位函數也代表著光學系統的成像像差。因此藉由改進後的Slanted edge量測方法以及相位回復演算法可以得到光學系統的成像像差。