儀科中大晶元合作 共創綠能新科技

2014-11-11 經濟日報 曹松清

「光學系統整合研發聯盟」主導結合晶元光電、中央大學及儀科中心等三方能量，將先進材料「石墨烯應用於紫外光發光二極體之製造技術」。 國研院／提供

        國研院儀科中心「光學系統整合研發聯盟」主導，結合全球最大LED晶片廠晶元光電 、國立中央大學薄膜技術中心及儀科中心等產學研三方能量，將先進材料「石墨烯應用於紫外光發光二極體（UV-LED）製造技術」，預期可提 升台灣技術水準，達到與美、日大廠並駕齊驅的境界，推估超過3.6億元以上的年產值。

        隨著環保意識高漲，全球節能產品需求大增，其中可應用於農業用途、紙鈔識別、樹脂硬化、特殊生醫用途的UV-LED市場前景看好，產業進入快速發展期。然而目前高功率UV-LED均使用氧化銦錫（ITO）做為透明導電膜 ，會發生散熱不良 與電流分佈不均等問題，影響其發光效率。

        為協助我國廠商搶攻國際節能商機，儀科中心聯合晶元光電及中央大學，取得科技部中部科學工業園區管理局高科技設備前瞻技術發展計畫支持，共同執行「開發電漿輔助高溫原子層沉積系統應用於紫外發光二極體」計畫，以更適合LED使用的透明電極材料石墨烯（graphene）取代氧化銦錫，希望能克服UV-LED發光效率降低的問題。

        該研究的關鍵技術有二，一是要讓低溫製程（約600℃）的石墨烯可以直接在白金薄膜上生成，以製作電極。中大薄膜中心李正中教授、郭倩丞助理教授團隊負責開發石墨烯低溫製程，儀科負責讓石墨烯直接在白金薄膜上生成（此即「電漿輔助高溫原子層沉積系統」）。第二項關鍵技術是讓此電極可與LED的發光層完美結合， 這部分由儀科和晶元共同研發。合作初期將於晶元廠內進行測試與驗證，待技術成熟後，將委託儀科與中大薄膜中心技術轉移於設備廠商，進行相關設備製造，建立我國設備自主開發能力。