公佈欄-國立中央大學光電科學與工程學系

促進國內真空產業再升級　儀科中心攜手新萊應材、虎尾科大、中央大學合作

【大成報記者羅蔚舟／新竹報導】

產官學研合作增進國內產業競爭力再肇典範！國家實驗研究院儀器科技研究中心（儀科中心）與國內真空組件設備製造商新萊應材科技公司及虎尾科技大學、中央大學合作，獲得科技部產學合作計畫補助，共同開發「高潔淨真空閘閥組件之微粒檢測系統」，提升國內產業設備及關鍵元組件自主化供應能力，增進國內產業競爭力。

真空技術在食品、機械、高科技產業皆有非常廣泛的運用，許多重要設備都與真空技術息息相關。半導體產業平均每年在真空製程設備支出達千億美元之譜，由此可見真空技術在半導體製程設備中扮演著舉足輕重的角色。真空設備的高效能與穩定性攸關製程產品的品質與良率，也因此對於高潔淨真空應用材料的品質要求日趨嚴格。

在真空設備中，「閘閥」為最重要的零組件，閘閥於作動時，所產生的微粒對於真空潔淨度具有相當關鍵的影響。國內半導體產業已要求國內外設備商供應組件產品時，須一併提供作動時所產生之微粒污染評估。因應業界要求，新萊應材積極尋求儀科中心協助，並與虎尾科大、中央大學共同投入「高潔淨真空閘閥組件之微粒檢測系統」之研究。

本計畫係由虎尾科技大學機械設計工程系周榮源教授進行檢測系統設計，儀科中心與中央大學光電科學與工程學系陳昇暉教授協助新萊應材建立檢測標準流程，以及微粒尺寸及成份檢測。本系統主要是針對真空閘閥作動時所產生的次微米微粒，進行監控與成份分析，即時測試各類真空閘閥所可能產生的微粒與污染源，透過數據收集來回饋產品設計端，協助廠商快速了解產品品質，作為改善依據。除此之外，儀科中心亦以本身標準實驗室的建置基礎與真空系統技術，協助新萊應材建立該系統之特性量測與分析技術標準化，進而建立檢驗相關硬體設施之檢驗程序。

儀科中心於真空領域的發展已逾40餘年，為我國真空技術研發的重鎮。因應國家科技發展政策，以及協助產業升級之使命，積極投入儀器設備產業及關鍵元組件自主化供應之研究。本次合作結合產、學、研四單位研究能量，以國家級前瞻技術，建立產業界設備自製及自主研發能力；未來更可串聯設備產業，帶動上下游關鍵元組件在地化發展，並導入產業供應鏈，落實設備產業及關鍵元組件自主化供應的目標，促使台灣產業競爭力升級。