課程介紹

首頁 修業資訊 課程介紹課程大綱

課程目標

提供學生利用電漿技術進行薄膜製程所需具備的知識。

修習條件

主要教本

期刊論文

內容大綱

1. 電漿技術
2. 電漿設備
3. 濺鍍系統
4. 高能脈衝磁控濺鍍系統
5. 薄膜材料
6. 薄膜設計
7. 薄膜製程
8. 薄膜量測與分析
9. 薄膜特性
10. 電漿與薄膜