課程介紹

課程大綱 OS7187-* 薄膜沉積技術 更新日期: 2025-02-22
課程目標
針對目前鍍膜應用的鍍膜技術進行介紹與分析,讓學生理解現存的鍍膜技術與未來鍍膜技術的發展,有助於學生在鍍膜技術上的選用以及未來就業後對鍍膜技術的了解。  

修習條件

主要教本
Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings, Third Edition, 2010

內容大綱
Chapter 1 - Deposition Technologies: An Overview
Chapter 2 - Plasmas in Deposition Processes
Chapter 3 - Surface Preparation for Film and Coating Deposition Processes
Chapter 4 - Evaporation: Processes, Bulk Microstructures, and Mechanical Properties
Chapter 5 - Sputter Deposition Processes
Chapter 6 - Ion Plating
Chapter 7 - Chemical Vapor Deposition
Chapter 8 - Atomic Layer Deposition
Chapter 9 - Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Functional Coatings
Chapter 10 - Unfiltered and Filtered Cathodic Arc Deposition
Chapter 11 - Vacuum Polymer Deposition





地址: 320317 桃園市中壢區中大路300號 國鼎光電大樓 電話: 03-4227151 ext 65251 傳真: 03-4252897 Email: ncu5251@ncu.edu.tw
Copyright © 2005-2024 Department of Optics and Photonics, National Central University 隱私權政策聲明