課程介紹
課程大綱
OS7086 奈微米製作概論 更新日期: 2023-12-18
課程目標
幫助學生在取得微光電無塵室使用權限前，對半導體製程技術有基本的認識。
修習條件
主要教本
"Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk & Julian Serda, Pearson, ISBN: 978-986-154-117-4"
內容大綱
Material Properties; Doping and Diffusion; Photolithography; Oxidation and Thin Films Deposition;Annealing; Etching.
