課程介紹

課程大綱 OS7086 奈微米製作概論 更新日期: 2021-12-03
課程目標
幫助學生在取得微光電無塵室使用權限前,對半導體製程技術有基本的認識。  

修習條件

主要教本
"Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk & Julian Serda, Pearson, ISBN: 978-986-154-117-4"

內容大綱
Material Properties; Doping and Diffusion; Photolithography; Oxidation and Thin Films Deposition;Annealing; Etching.





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