選單開關 教育目標 課程介紹 每學期開課課表 課程地圖 課程大綱 大學部 研究所 台聯大國際光電學程 獎學金及國際交流 課程介紹 首頁 修業資訊 課程介紹課程大綱 課程大綱 OS7086 奈微米製作概論 更新日期: 2020-10-05 課程目標 幫助學生在取得微光電無塵室使用權限前，對半導體製程技術有基本的認識。 修習條件 主要教本 Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk & Julian Serda, Pearson, ISBN: 978-986-154-117-4 內容大綱 Material Properties; Doping and Diffusion; Photolithography; Oxidation and Thin Films Deposition;Annealing; Etching.
Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk & Julian Serda, Pearson, ISBN: 978-986-154-117-4
Material Properties; Doping and Diffusion; Photolithography; Oxidation and Thin Films Deposition;Annealing; Etching.
